micro machining

micro machining

---

میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت در اندازه میکرو که بطور مستقیم برای ساخت سیستم های میکرو الکترو مکانیکی استفاده می‌شوند، محدویت های خاص خودشان را دارند. برای مثال در این تکنولوژی، ساختاری که تولید می‌شود اغلب به استفاده از سیلیکون محدود می‌شود و تجهیزاتیکه برای این تکنولوژی مورد نیاز است، بسیار گران می‌باشد. روش های پرکاربرد میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت قطعات در ابعاد میکرو شامل پروسه های روبرو میباشد: (1) متدهای براده برداری مانند میکرو ماشین کاری تخلیه الکتریکی، سنگ زنی با تخلیه الکتریکی و سیم و میکرو ماشین کاری لیزر (2) تکنیک های رسوب دهی ماده مانند رسوب دهی بخار شیمیایی به کمک لیزر، استریو لیتوگرافی ماورا بنفش، اچ کردن (3) LIGA (که از یک کلمه آلمانی گرفته شده) و دیگر متدهای وابسته به فوتولیتوگرافی. مقاله حاضر به بررسی و مقایسه متد های ذکر شده پرداخته است. برای ارزیابی روش ها و معیارهای مطرح شده، در پایان جدولی تهیه شده است که به مقایسه روش ها و تکنولوژیهای ذکر شده و نقاط قوت و ضعف هر یک می پردازد. با توجه به این جدول، پروسه LIGA علی رغم تجهیزات گران و قیمت ساخت آن، یکی از مهمترین و کارآمد ترین تکنیک ها می‌باشد.